2重管式同軸線路形MPCVD装置を用いて作製したa-Si:H/Si3N4多層膜の膜質とその光回路素子への応用 - I-Scover metadata
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2重管式同軸線路形MPCVD装置を用いて作製したa-Si:H/Si3N4多層膜の膜質とその光回路素子への応用

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