CuTi-Cu3Ti化合物合金膜の作製とCu/CuTi-Cu3Ti/TiN/Siコンタクト系への拡散バリヤとしての適用 - I-Scover metadata
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CuTi-Cu3Ti化合物合金膜の作製とCu/CuTi-Cu3Ti/TiN/Siコンタクト系への拡散バリヤとしての適用

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